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PURA
露點計
主要特點
- 測量範圍低至 -120 °Cdp (-184 °Fdp) (1ppbV)
- 穩定且可重複的測量
- 反應快速
- 4…20 mA
- 可追溯的校正報告
- VCR 製程連接件
- 可搭配控制器
- 類比輸出或數位輸出
- 提供防爆規格
概述
用於測量超高純度氣體中的微量水分(1ppb)。Pura 安裝簡便,提供類比或數位輸出,並可選配防爆 IS 認證,此外還配備一系列 VCR 製程連接和電氣連接。此外,也適用舊換新方案,降低維護成本。
- 氣體純化系統
- 半導體製造
- 高純氣應用
- 光纖製造
- 光學鍍膜製程
- 電子元件製造
- 特殊氣體的生產